微导纳米ALD技术突破 半导体设备进入放量拐点

时间：2026年08月27日 09:01:43 中财网

　　CFi.CN讯：数据显示，微导纳米2025年半导体设备收入达8.81亿元，同比大增169.12%；在手订单升至15.05亿元，同比增长65.91%。光伏业务短期承压拖累整体营收微降，但半导体业务已成核心增长极。

　　
　　近期机构研报指出，公司ALD设备已导入多家国产逻辑与存储大厂前道产线，iTomic MeT系列获批量订单，硬掩模PECVD实现量产，LPCVD也获重复订单，技术延伸路径清晰。研报认为，三维芯片结构升级和国内晶圆厂扩产正系统性提升ALD工艺渗透率，公司从单一ALD向ALD+CVD综合平台演进，客户单线价值量持续提升。

　　
　　研报指出，可转债募投项目全部聚焦半导体，达产后将新增50台/套薄膜沉积设备产能。随着订单加速转化及规模效应显现，2026年起利润增速有望显著改善，成长确定性增强。